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真空高低溫桌面型探針臺高精度

  • 更新時間:  2024-12-20
  • 產品型號:  LH-TTPX
  • 簡單描述
  • 真空高低溫桌面型探針臺高精度。探針臺采用模塊化設計,滿足廣泛的實驗需求,LH-TTPX是德世提供的一款通用高性能入門級探針臺,出廠時可根據客戶需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據研究人員需要選擇,可選背光樣品臺和樣品支架,可實現I-V、C-V、微波等測試測量,能滿足絕大多數實驗需求。安裝多個溫度傳感器,保證溫度測量推確性以及重復性。
詳細介紹
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真空高低溫桌面型探針臺高精度TTPX探針臺采用模塊化設計,滿足廣泛的實驗需求,LH-TTPX是德世提供的一款通用高性能入門級探針臺,出廠時可根據客戶需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據研究人員需要選擇,可選背光樣品臺和樣品支架,可實現I-V、C-V、微波等測試測量,能滿足絕大多數實驗需求。安裝多個溫度傳感器,保證溫度測量推確性以及重復性。樣品處于真空環境中,確保一些親水性材料表面不冷凝,選件可實現樣品從制備到測量處于真空環境中。LH-TTPX可以使用液氮和液氦兩種低溫液體,根據客戶需求出廠時配置好。

真空高低溫桌面型探針臺高精度真空高低溫桌面型探針臺高精度

  1.液氮/液氮冷卻樣品臺,蒸發后的低溫氮氣/氦氣冷卻防輻射屏

  2.防輻射屏包圍著樣品臺帶紅外吸收窗口

  3.使用液氮/液氦作為冷源

溫度屬性

蕞低溫度

控溫范圍

配置

78K

80K-500K

6個探針臂

80K

80K-675K

高溫選件


控溫穩定性

溫度范圍

液氦

液氮

蕞低溫不控溫

±15mk

±20mk

<10K

±50mK


10K-100K

±20mk

±50mK

100K-250K

±15mk

±50mK

251K-350K

±15mk

±100mK

351K-675K

±50mK

±100mK


真空性能

室溫

<5X10-3Pa

蕞低溫

<5X10-4Pa

最高溫

<5X10-2Pa

注:以上數據使用600L渦輪分子泵組得到

樣品振動

X方向

<300nm

Y方向

Z方向

  時間參數:

  ◆抽空時間:20min(與泵組相關)

  ◆降溫時間:液氦從室溫到蕞低溫1h,液氮從室溫到蕞低溫30min

  ◆升溫時間:液氦從蕞低溫到室溫1h,液氮從蕞低溫到室溫30min

  樣品臺:

  ◆標準樣品臺:51mm(2in)

  ◆最大樣品臺:102mm(4in)選配

  ◆樣品臺背光:通光孔直徑6mm

  ◆樣品臺類型:三同軸樣品臺(標配)、接地樣品臺(選配)、0.15T垂直磁場樣品臺(選配)

  探針:

  ◆探針數量:最多6個

  ◆探針傳感器:硅二極管(液氦),PT100(液氮),監視探針溫度

  ◆探針托溫度:<35K(液氦),<100K(液氮)

  ◆探針熱沉:熱沉到樣品臺

  ◆探針臂:熱沉到防輻射屏

  ◆DC/RF探針:絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

  ◆微波探針:DC到67GHz,用于微波測量

  ◆光纖探針:用于光電測量

  探針位移:

  ◆X方向行程:75mm,移動分辨率3μm

  ◆Y方向行程:25mm,移動分辨率5μm

  ◆Z方向行程:25mm,移動分辨率5μm

  顯微鏡配置

  3400萬像素CCD相機

  支持4K視頻錄制

  4條水平線4條垂直線,帶測量軟件

  標準HDMI接口

  電子縮放1x-10x

  景深同軸光鏡頭,帶LED同軸光源

  光學倍數0.7-5X,連續變倍北7.1:1

  電子倍數20-200x

  成像距離140-180mm

  景深高度:10mm

  觀看面積1mm-18mm

  制冷劑消耗:

  ◆室溫到蕞低溫度:3到4L(液氦),2到3L(液氮)

  ◆液氦消耗(5K):≈3L/h

  ◆液氮消耗(80K):≈0.5L/h

探針臺配置

溫度配置

樣品臺傳感器加熱器

液氦:硅二極管傳感器、100W加熱器

液氮:PT100傳感器、100W加熱器

防輻射屏傳感器加熱器

PT100傳感器、100W加熱器

探針臂傳感器

液氦:硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂)

液氮:PT100傳感器(安裝在其中一個針臂)

溫度控制

控溫儀型號

斯坦福CTC100四通道溫度控制器

低溫輸液管

液氮液氦通用低溫輸液管(1.5m,其它長度可選配),帶流量閥控制

低溫液體儲存罐

液氦:100L液氦自增壓低溫罐(可選更大容量)

液氮:30L液氮自增壓低溫罐(可選更大容量)

支架

桌面

長寬高657X557X76mm

氣浮隔振

可選配

真空腔體

材料

鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)或鋁電鍍鎳

外部直徑高度

220x150mm

內部直徑高度

190x150mm

可視窗凈尺寸

φ65毫米,紅外吸收石英窗口

真空抽口

KF16

真空閥門

KF16手動擋板閥

放氣閥

手動放氣閥

預留接口

KF25接口,可裝真空計等其它選件

探針引出口

六個真空三同軸接口(DC探針,選擇其它探針,接口不同)

防輻射屏

材料

銅鍍金

外徑

134mm

可視窗凈尺寸

50mm,配紅外吸收窗口

抽空泵組

分子泵組

可選(客戶可自備)

機械泵組

可選(客戶可自備)

抽空減振塊

抽空減振塊

KF25進出氣口,重量15公斤

配電要求

單相電壓

220V/50Hz

單相功率

1KW

樣品托

  接地樣品托

  直接安裝在樣品臺,盡量減小對樣品的溫度梯度,與整個探針臺電器接通

真空高低溫桌面型探針臺高精度

  注:可選圓形和方形,性能無差異

  同軸樣品托

  樣品托表面與探針臺整體電器絕緣,通過BNC接口穿過真空室

真空高低溫桌面型探針臺高精度

  注:可選圓形和方形,性能無差異

  三同軸樣品托

  在同軸樣品托的基礎上增加GUARD層,層與層之間電器絕緣,提供保護電壓層,減小漏電流

真空高低溫桌面型探針臺高精度

  注:可選圓形和方形,性能無差異

樣品托配置


類型

接口

尺寸

設備包括

接地樣品托

φ51mm(2in)

選件

接地樣品托

φ51mm(2in)

同軸樣品托

BNC

φ51mm(2in)

三同軸樣品托

TRIAX

φ51mm(2in)

注:其它尺寸樣品托接受定制

真空高低溫桌面型探針臺高精度

樣品托性能

電絕緣

溫差

溫度

接地樣品托

導通

0.1K-0.2K

400K

同軸樣品托

>100MΩ

≈1K

400K

三同軸樣品托

>100GΩ

≈1K-2K

400K

1.電絕緣測試是在10V電壓情況下,測量導電面之間的電阻

2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小,都會對溫差產生影響,熱接觸不充分樣品負載大,會增加溫差。

接口

BNC

同軸樣品托-配2BNC真空接口以極低溫同軸線纜

TRIAX

三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線

探針臂配置

德世標準的微操作針臂,能安裝各種類型的探針,滿足絕大部分科研需求,實現直流、射頻、微波以及光學測量。

u靈活容易擴展的探針集合

u微操作針臂可以在全溫區、真空環境、磁場環境下使用

u可以配置在德世任意款探針臺上

u磁場探針臺中更換成無磁材料針臂

u針臂上安裝一個標準溫度傳感器,可以接受定制傳感器類型

真空高低溫桌面型探針臺高精度

真空高低溫桌面型探針臺 高精度

探針配置及用途

通用DC

小信號低噪聲DC測量

高阻DC

高阻抗低漏電流測量

RF-1GHz

KHz和MHz級別的測量,測量帶寬高達1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量,需要購買一GSG探針

RF/微波-40GHz

可實現高達40GHz的測量,同時也能實現兼容DC測量

RF/微波-67GHz

可實現高達67GHz的測量,同時也能實現兼容DC測量

光纖探針

給樣品通光或者從樣品采集光,可選波長,可選FC/APC或者SMA905接口

探針硬件配置


接口

探針

內部線

平角

定制

通用DC

3耳BNC

SMA低溫探針

微型低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

高阻DC

3耳triaxial

SMA低溫探針

微型低溫同軸線,屏蔽層接三同軸GUARD

±5°

探針針尖和直徑

RF-1GHz

2.92mm(K型連接器)

SMA低溫探針

2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

RF/微波-40GHz

2.92mm(K型接器)

40G-GSG探針

2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

RF/微波-67GHz

1.85mm(Z型連接器)

67G-GSG探針

1.85mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

光纖探針

FC/APC或SMA905

光纖

±5°

類型、波長、入射角


使用頻率

絕緣電阻

電容

阻抗

反射

傳輸

通用DC

DC-50Hz

>100MΩ

<100pF

50Ω

高阻DC

DC-50Hz

>100GΩ

<100pF

RF-1GHz

DC-1GHz

>10MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-40GHz

DC-40GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-67GHz

DC-67GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

光纖探針


注:絕緣電阻在10V電壓下測量得到

探針性能

探針定位


X軸

Y周

Z軸

行程

75mm(2in)

25mm(0.5in)

25mm(0.5in)

精度

3μm

5μm

5μm



SMA低溫專用探針

真空高低溫桌面型探針臺高精度

  德世為低溫探針臺設計專用探針,探針具有強大的通用性,能實現直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作,低溫焊料焊接SMA接口,50歐姆阻抗傳輸線,可配置鎢、P7或者鈹銅探針,無氧銅熱沉帶,熱沉到樣品臺


真空高低溫桌面型探針臺高精度    

型號

材料

針尖直徑(µm)

SMA-05D-01-W

1

SMA-05D-05-W

5

SMA-05D-10-W

10

SMA-05D-20-W

20

SMA-05D-100-W

100

SMA-05D-01-BC

鈹銅

1

SMA-05D-05-BC

5

SMA-05D-10-BC

10

SMA-05D-20-BC

20

SMA-05D-100-BC

100

SMA-05D-01-P7

Paliney7合金

1

SMA-05D-05-P7

5

SMA-05D-10-P7

10

SMA-05D-20-P7

20

SMA-05D-100-P7

100



針尖材料

描述

應用

導電性

接觸電阻

壽命

(W)

常用,耐用

適用各種樣品表面,能穿透氧化層

鈹銅(BC)

常用,接觸電阻小

沉金焊盤pad

最小

paliney7合金(P7)

專用,接觸電阻小

精密的焊盤pad







真空高低溫桌面型探針臺高精度






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